SICK施克反射器及光學(xué)元件[產(chǎn)品打印頁(yè)面]

DOE的特點(diǎn)則是能夠在保持較高衍射效率的同時(shí)對(duì)光強(qiáng)分布進(jìn)行**控制，因此DOE成

為實(shí)現(xiàn)離軸照明的理想元件。一般用于光刻系統(tǒng)離軸照明的DOE，其子單元個(gè)數(shù)需<10，

設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)量較大，單元尺寸達(dá)到微米甚至是亞微米量級(jí)。

光沿著直線傳播，當(dāng)光穿過(guò)一個(gè)小孔或經(jīng)過(guò)一個(gè)輪廓分明的邊緣時(shí)，沿小孔邊緣產(chǎn)生了

干涉圖形，結(jié)果得到了一個(gè)模糊的圖像，而不是希望出現(xiàn)在光和陰影之間的清晰邊緣，

光看上去沿狹縫邊緣彎曲了。這種現(xiàn)象被稱(chēng)做衍射。

光學(xué)元件基于光波的衍射理論，利用計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)，并通過(guò)半導(dǎo)體芯片制造工藝，

在基片上(或傳統(tǒng)光學(xué)器件表面)刻蝕產(chǎn)生臺(tái)階型或連續(xù)浮雕結(jié)構(gòu)，形成同軸再現(xiàn)、且

具有極高衍射效率的一類(lèi)光學(xué)元件。衍射光學(xué)元件薄而輕，體積小，還具有高衍射效

率、多設(shè)計(jì)自由度、良好的熱穩(wěn)定性和獨(dú)特的色散特性，是諸多光學(xué)儀器的重要元件。

產(chǎn)品留言

標(biāo)題

聯(lián)系人

聯(lián)系電話

內(nèi)容

驗(yàn)證碼

點(diǎn)擊換一張

注：1.可以使用快捷鍵Alt+S或Ctrl+Enter發(fā)送信息!
2.如有必要,請(qǐng)您留下您的詳細(xì)聯(lián)系方式!