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好性能SUNX晶圓定位傳感器，DPH-A27[產(chǎn)品打印頁面]

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產(chǎn)品名稱: 好性能SUNX晶圓定位傳感器，DPH-A27
產(chǎn)品型號: DPH-A27
產(chǎn)品展商: SUNX
簡單介紹
好性能SUNX晶圓定位傳感器，DPH-A27 好性能SUNX晶圓定位傳感器，DPH-A27

好性能SUNX晶圓定位傳感器，DPH-A27的詳細介紹

好性能SUNX晶圓定位傳感器，DPH-A27
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安全性**的LED式
以往使用激光的激光式定位傳感器，激光會從加載口內(nèi)側(cè)穿過FOUP直射操作人員，十分危險。
M-DW1成功使用LED光源。確保操作人員安全。
因此，受晶圓厚度和反射光量的影響較小。
基于2段受光元件的高精度位置檢測
可從四個方向引出電纜　　穩(wěn)定指示燈 綠色LED（穩(wěn)定入光時、穩(wěn)定非入光時亮起點燈）
M-DW1的受光部使用2段受光元件，通過反射光位置而非反射光量進行檢測。
實現(xiàn)0.5ms的高速反應。兼顧高速反應性和高精度。
氮化膜具有可吸收特定波長光的性質(zhì)，吸收的波長因氮化膜的厚度而不同。
NPN開路集電極晶體管
定時器功能 裝備約2ms固定斷開延遲定時器　有效/無效切換式
投光停止輸入 信號條件　　PNP開路集電極晶體管
M-DW1以反射光的位置來檢測，不管反射光量的多少都能檢測出玻璃晶圓。
亦可檢測玻璃晶圓　　可檢測涂氮晶圓　　工作狀態(tài)指示燈 橙色LED（輸出ON時亮起）
0.4V以下（流入電流為16mA時）　　 源電流：100mA　　 投光停止：斷開或4 8V
投光：0 3V或9V +V（26.4V MAX.）
靈敏度切換輸入 信號條件
亦可檢測玻璃晶圓
短路保護 裝備（自動復位）　　 外加電壓：30V DC以下（輸出和+V之間）
因此，對于使用單波長激光的傳感器，可能會因光全被吸收而無法檢測。
可從四個方向引出電纜
消耗電流 65mA以下　　輸出 NPN輸出／PNP輸出　可由切換開關(guān)選擇

利用反射光量檢測時，反射光量和晶圓的邊緣形狀會影響檢測結(jié)果。
輸出動作 可用切換開關(guān)選擇入光時ON/非入光時ON
而LED光源的光具有一定波長段，即使氮化膜晶圓也可準確檢測。
0.5ms的高速反應　　<NPN輸出>
剩余電壓：1V以下（源電流為100mA時）
0.4V以下（源電流為16mA時）　　內(nèi)置放大器的小巧、輕盈型
尺寸為寬度80.6mm×厚度18.3mm×進深50mm，質(zhì)量約為75g的小巧、輕盈型。
好性能SUNX晶圓定位傳感器，DPH-A27
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