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優(yōu)勢神視晶圓定位傳感器，PX-22[產(chǎn)品打印頁面]

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產(chǎn)品名稱: 優(yōu)勢神視晶圓定位傳感器，PX-22
產(chǎn)品型號: PX-22
產(chǎn)品展商: SUNX
簡單介紹
優(yōu)勢神視晶圓定位傳感器，PX-22 　　通過反射光位置而非反射光量進(jìn)行檢測。 　　可能會因光全被吸收而無法檢測。 　　可檢測涂氮晶圓 　　而LED光源的光具有一定波長段， 　　即使氮化膜晶圓也可準(zhǔn)確檢測。 　　0.5ms的高速反應(yīng) 優(yōu)勢神視晶圓定位傳感器，PX-22

優(yōu)勢神視晶圓定位傳感器，PX-22的詳細(xì)介紹

優(yōu)勢神視晶圓定位傳感器，PX-22
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以往使用激光的激光式定位傳感器，
基于2段受光元件的高精度位置檢測
可從四個方向引出電纜
氮化膜具有可吸收特定波長光的性質(zhì)，
吸收的波長因氮化膜的厚度而不同。
傳感器可以從正前方、右側(cè)、左側(cè)、下方四個方向引出電纜。
可根據(jù)傳感器的設(shè)置情況靈活調(diào)節(jié)。
激光會從加載口內(nèi)側(cè)穿過FOUP直射操作人員，十分危險。
因此，對于使用單波長激光的傳感器，
M-DW1以反射光的位置來檢測，
不管反射光量的多少都能檢測出玻璃晶圓。
亦可檢測玻璃晶圓
利用反射光量檢測時，
反射光量和晶圓的邊緣形狀會影響檢測結(jié)果。
M-DW1的受光部使用2段受光元件，

實現(xiàn)0.5ms的高速反應(yīng)。
可從四個方向引出電纜
內(nèi)置放大器的小巧、輕盈型
尺寸為寬度80.6mm×厚度18.3mm×進(jìn)深50mm，
質(zhì)量約為75g的小巧、輕盈型。
M-DW1成功使用LED光源。確保操作人員安全。
安全性**的LED式
亦可檢測玻璃晶圓
兼顧高速反應(yīng)性和高精度。
因此，受晶圓厚度和反射光量的影響較小。
優(yōu)勢神視晶圓定位傳感器，PX-22
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