銷售神視晶圓定位傳感器,SUNX晶圓定位傳感器[產(chǎn)品打印頁面]

銷售神視晶圓定位傳感器,SUNX晶圓定位傳感器
實(shí)現(xiàn)0.5ms的高速反應(yīng)。兼顧高速反應(yīng)性和高精度。
利用反射光量檢測(cè)時(shí)，反射光量和晶圓的邊緣形狀會(huì)影響檢測(cè)結(jié)果。
M-DW1的受光部使用2段受光元件，
通過反射光位置而非反射光量進(jìn)行檢測(cè)。
因此，受晶圓厚度和反射光量的影響較小。
傳感器可以從正前方、右側(cè)、左側(cè)、下方四個(gè)方向引出電纜。
可根據(jù)傳感器的設(shè)置情況靈活調(diào)節(jié)。
以往使用激光的激光式定位傳感器，
激光會(huì)從加載口內(nèi)側(cè)穿過FOUP直射操作人員，十分危險(xiǎn)。
檢測(cè)物體 3英寸以上的半導(dǎo)體晶圓(注2)

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可對(duì)應(yīng)檢測(cè)面 有受光方向反射面的端面形狀的檢測(cè)面(注3)
檢測(cè)角度 12.5±5°(注4)
晶圓間距 間距3mm以上時(shí)，可按通常靈敏度進(jìn)行分離檢測(cè)(注5)
M-DW1以反射光的位置來檢測(cè)，
不管反射光量的多少都能檢測(cè)出玻璃晶圓。
氮化膜具有可吸收特定波長(zhǎng)光的性質(zhì)，
吸收的波長(zhǎng)因氮化膜的厚度而不同。因此，
對(duì)于使用單波長(zhǎng)激光的傳感器，可能會(huì)因光全被吸收而無法檢測(cè)。
而LED光源的光具有一定波長(zhǎng)段，即使氮化膜晶圓也可準(zhǔn)確檢測(cè)。

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