主營產(chǎn)品：閥門、氣動(dòng)元件、儀器儀表、電子元器件
產(chǎn)品[

XGT313-46236-1C[產(chǎn)品打印頁面]

]資料
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產(chǎn)品名稱: XGT313-46236-1C
產(chǎn)品型號: XGT系列
產(chǎn)品展商: SMC
簡單介紹
XGT313-46236-1C 使用壓力范圍 (Pa) 使用流體 門尺寸 (高×寬) (mm) 動(dòng)作壓力 (MPa) XGT 大氣壓～1×10-6 惰性氣體系的真空 32×222 46×236 50×336 0.45～0.6 特長 對于半導(dǎo)體裝置等場合、適合于負(fù)載鎖定室和傳送室以及傳送室和過程室之間有門閥隔開的場合。

XGT313-46236-1C的詳細(xì)介紹

XGT313-46236-1C

高真空狹縫閥
閥門口徑
適用晶圓尺寸
200毫米
300毫米
軸數(shù)
兩軸波紋管
一軸波紋管
符號
22
31
打開窗口大小
高x寬（mm）
32×222
46 X236
50×336
適用晶圓尺寸
200毫米
300毫米
符號
32222Note）
46236
50336
自動(dòng)開關(guān)
和連接器
門O形圈材料
材料
符號
1
2
閥門類型
1
非卡帶
類型
符號
閥門類型
可適用
晶圓尺寸
200毫米
300毫米
2
卡式
標(biāo)準(zhǔn)
卡式
半MESK
卡式
全MESK
3 4
適當(dāng)?shù)拿芊馊∠?br /> 終LOCK取消的程序
適當(dāng)?shù)拿芊馊∠?br /> 終LOCK取消的程序
適當(dāng)?shù)拿芊馊∠?br /> 終LOCK取消的程序
適當(dāng)?shù)拿芊馊∠?br /> 終LOCK取消的程序
高度
非卡式
注）無論是卡式半MESK的也不卡帶
設(shè)置**MESK。
定做
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