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SMC高真空閥，XLAV-25F-M9BA-4L

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鋁制高真空L型閥   XL□
 系列/CAD 動作方式 軸密封形式
 閥形式 材質(zhì) 法蘭尺寸
XLA  氣控 波紋管密封 單作用
(N.C.) 閥體：
　鋁合金
波紋管：
　SUS316L 16～80
XLAV
(帶電磁閥) 
XLC  雙作用
XLCV
(帶電磁閥) 
XLF  O形圈密封
 單作用
(N.C.) 閥體：
　鋁合金 16～160
XLFV
(帶電磁閥) 
XLG  雙作用 16～80
XLGV
(帶電磁閥) 
XLD  波紋管?
O形圈密封
 單作用
(N.C.) 閥體：
　鋁合金
波紋管：
　SUS316L 25～80
XLDV
(帶電磁閥) 
XLH  手動 波紋管密封
 手動 閥體：
　鋁合金
波紋管：
　SUS316L 16～50
XLS  電磁式 波紋管壓力平衡 單作用
(N.C.) 16, 25
特長 抗氟腐蝕能力強。
放出氣體少。
重金屬污染少。

高真空角閥系列XL 特點
（XLA/ XLAV的波紋管密封，單作用）
顆粒和清潔室兼容波紋管
類型
•壓力平衡機制
（XLC/ XLCV的波紋管密封，雙作用）
顆粒和清潔室兼容波紋管
類型
•壓力平衡機制
（XLF/ XLFV的O形圈密封，單作用）
•低氣體夾帶O型圈與就業(yè)
密封系統(tǒng)
•高速響應
•通過特殊的表面顆粒減少
**軸封。
（XLG/ XLGV的O形圈密封，雙作用）
•低氣體夾帶O型圈與就業(yè)
密封系統(tǒng)
•高速響應
•通過特殊的表面顆粒減少
**軸封。
XLD/ XLDV的（2步控制，單作用）
•初始階段，排氣閥和排氣閥主要
被組合。 （流速2步控制閥）
•一個緊湊的系統(tǒng)設計并減少
管道
•防止顆粒內(nèi)部動蕩
室中耗盡。
•防止泵運行，而超載。
•初始排氣閥門的流量是可調(diào)的。
XLH（波紋管密封，手動）
•波紋管類型為可吸入顆粒和清潔。
•壓力平衡機制允許不受限制
排氣方向。
•低啟動力矩（0.5 N·m以下）
•Spring提供了標準的密封比壓。
•手柄高度是相同的，當閥門打開或
關(guān)閉。
•指示燈確認閥門的開啟和關(guān)閉
是標準裝備。
XLS（波紋管壓力平衡，常閉
XLS電磁）
•顆粒物減少，因為沒有滑動
金屬零件。
•壓力平衡機制允許不受限制
排氣方向。
•控制電源的電磁閥驅(qū)動電路
已取得的標準。
•可用于便攜式設備中，因為空氣驅(qū)動
是沒有必要的。

SMC高真空閥，XLAV-25F-M9BA-4L

High Vacuum Angle Valves Series XL Features
XLA/XLAV (Bellows seal, Single acting)
• Particulate-free and clean room compatible bellows
type
• Pressure-balance mechanism
XLC/XLCV (Bellows seal, Double acting)
• Particulate-free and clean room compatible bellows
type
• Pressure-balance mechanism
XLF/XLFV (O-ring seal, Single acting)
• Low gas entrainment with employment of O-ring
seal system
• High speed response
• Particulates are reduced through special surface
treatment of shaft seal.
XLG/XLGV (O-ring seal, Double acting)
• Low gas entrainment with employment of O-ring
seal system
• High speed response
• Particulates are reduced through special surface
treatment of shaft seal.
XLD/XLDV (2-Step control, Single acting)
• Initial stage exhaust valve and main exhaust valve
are combined. (flow rate 2-step control valve)
• Designed with a compact system and reduced
piping
• Prevents particulate turbulence inside the
chamber during exhaustion.
• Prevents pumps from running while overloaded.
• Initial exhaust valve flow is adjustable.
XLH (Bellows seal, Manual)
• Bellows type is particulate free and cleaned.
• Pressure balance mechanism allows unrestricted
exhaust direction.
• Low actuation torque (0.5 N·m or less)
• Spring provides standard sealing load.
• Handle height is the same when valve is open or
closed.
• Indicator to confirm opening and closing of valve
is standard equipment.
XLS (Bellows pressure balance, Normally closed
XLS electromagnetic)
• Particulates are reduced because there are no sliding
metal parts.
• Pressure balance mechanism allows unrestricted
exhaust direction.
• A control power supply circuit for solenoid valve drive
has been made standard.
• Can be used in portable equipment since air for drive
is not necessary.

SMC高真空閥，XLAV-25F-M9BA-4L

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